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측정방식
분해능
수직 수평
측정속도 특징
Laser
(레이저 삼각측정법)		 5um 2um Fast 광삼각법을 이용한 측정
측정속도가 빠름
높은 단차 측정 가능
측정 분해능 제한
거울반사면 측정 어려움
측정음영지역 존재
Moire
(위상측정 모아레)		 5um 0.2um Fast 격자 이송을 통한 위상 측정
측정속도가 빠름
높은 단차 측정 어려움
측정 분해능 제한
거울반사면 측정 어려움
측정음영지역 존재
Confocal System
(공초점 광학계)		 0.2um 10nm Slow 초점맺힘 정도를 이용한 측정
상대적 측정속도 늦음
측정 정밀도 높음
측정음영지역 없음
반투명/거울반사면 측정 가능

White Light
Interferometry
(백색광 간섭계)

 0.2um 10nm Slow 다파장광의 간섭을 이용한 측정
상대적 측정속도 늦음
측정 정밀도 높음
측정음영지역 없음
진동에 취약