检测方式
分辨能力
水平 垂直
检测速度 特点
Laser Triangulation
(激光三角法)		 5um 2um Fast 采用光三角法进行检测
检测速度快
可检测高段差
测量解像力受限
镜反射面难以检测
存在检测阴影区
Moire
(位相测量莫尔)		 5um 0.2um Fast 相移光栅，进行相位测量
检测速度快
难以检测高段差
测量解像力受限
镜反射面难以检测
存在检测阴影区
Confocal System
(共焦显微镜)		 0.2um 10nm Slow 根据聚焦程度进行检测
测量速度相对较慢
检测精密度高
无检测阴影区
可检测半透明/镜反射面

White Light
Interferometry
(白光干涉仪)

 0.2um 10nm Slow 利用多波长光的干扰进行检测
测量速度相对较慢
检测精密度高
无检测阴影区
易受到振动干扰